Optische Messtechnik für die Präzisions- und Mikrofertigung

Bei der Herstellung von Präzisions- und Mikrostrukturen gewinnt die fertigungsnahe Qualitätsüberwachung immer mehr an Bedeutung. Für die industrielle Praxis werden prozesstaugliche Mess- und Prüfverfahren benötigt, die fertigungsbedingte Form- und Oberflächenfehler an Bauteilen zuverlässig und zeitnah beurteilen können.

Der Fokus der FuE-Aktivitäten liegt deshalb auf der Qualifizierung optischer Mess- und Prüfverfahren zur Sicherung der Produktqualität unmittelbar im Herstellungsprozess oder in deren Umfeld. Die FuE-Projekte im ITW zielen auf die

• Entwicklung von Makro- und Mikromessverfahren zur Erfassung von Abständen, Formen und Rauheiten auf technischen Oberflächen
• Erforschung und Einsatzerprobung mikrooptischer Geometriesensoren für eine prozessintermittierende Qualitätsprüfung
• Entwicklung und Validierung neuartiger Methoden zur Erfassung, Verarbeitung und Auswertung von Messdaten
• Erstellung prozessintegrierbarer Mess- und Prüfkonzepte, basierend auf Einzel- oder Kombinationslösungen, für eine 100%-Kontrolle mit dem Ziel einer Nullfehler-Fertigung
• Bau, Programmierung und Funktionsnachweis applikationsbezogener Mess- und Prüfeinrichtungen